北京量子信息科学研究院科研仪器设备电子束曝光机单一来源采购公示

一、项目信息

采购人：北京量子信息科学研究院

项目名称：科研仪器设备电子束曝光机

拟采购的货物或者服务的说明：

电子束曝光机1套

拟采购的货物或服务的预算金额：1050.0000000 万元（人民币）

采用单一来源采购方式的原因及说明:

电子束曝光是微纳米加工的核心技术。为了实现工艺水平从传统的微米量级，进入到亚微米和纳米尺度，构造纳米器件并从纳米尺度研究新型纳米器件和量子现象。此次拟采购的电子束曝光机须满足以下参数要求：
加速电压不低于50 kV；图形发生器扫描频率不低于50 MHz；最小线宽≤50 nm；500 μm写场下，拼接精度≤ 50 nm，套刻精度≤ 40 nm；1000 μm写场下，拼接精度≤ 100 nm，套刻精度≤ 80 nm。
根据全球调研，能满足上述需求的厂家有德国的Raith以及日本的JEOL、Elionix、Crestec，但日本已禁止出口该类国产av电影网站到中国，无法进行采购，故只有德国Raith能满足需求且愿意供货。
锐时科技（北京）有限公司是厂家Raith在中国的分公司，且是国内唯一销售渠道。因此申请单一来源采购。
综上，特申请单一来源采购方式，通过锐时科技（北京）有限公司购买所需的1套电子束曝光机。

二、拟定供应商信息

名称：锐时科技（北京）有限公司

地址：北京市东城区北三环东路36号1号楼7层A709房间

三、公示期限

2023年04月06日  至  2023年04月13日

四、其他补充事宜：

专家论证意见及专家姓名、工作单位、职称等信息详见附件。
由于系统原因，其他未尽事宜及公告显示内容与附件不同的，以附件为准。
本公示在中国政府采购网发布。

五、联系方式

1.采购人

联系人：北京量子信息科学研究院     

地址：北京市海淀区西北旺东路10号院西区3号楼        

联系方式：010-83057588 转 8052      

2.财政部门

联系人：北京市财政局采购处

联系地址：北京市通州区承安路3号

联系电话：010-55592405

3.采购代理机构信息

名 称：华诚博远工程咨询有限公司            

地 址：北京市西城区宣武门外大街10号庄胜广场中央办公楼北翼19层            

联系方式：于曼，15811596673